تصویر گرادیان اکسید روی یک دای سیلیکون یک سانت در یک سانت کانال نانو الکترونیک @nanoelectronic_orgه

تصویر گرادیان اکسید روی یک دای سیلیکون یک سانت در یک سانت کانال نانو الکترونیک @nanoelectronic_orgهمونطور که میدونید، یکنواختی فرآیندها در سطوح مختلف مهم هست(در سطح دای، ویفر، لات(مجموعه ویفرها در یک فرآیند)، فرآیند به فرآیند)در تصویر بالا مشخصا کمترین یکنواختی ممکن به دست اومده😂(البته ما تونسته بودیم نتایج بدتر از این ها رو هم بگیریم)حالا این وسط برای یکنواختی، مهمترین شرط یکنواختی دما هست، خیلی مهم، در این حد که تا ۰.۵ درجه اختلاف دما ر‌و هم بررسی میکنندقصه درازی هست و باید یواش یواش راجع بهش حرف زد.به جز دما، خود فاصله ویفرها، قطر کوره، قطر ویفرها، یکم ضخامت ویفرها هم تاثیرگذار هست، باز یک پارامتر مهم دیگه فلوی گاز هست که چه دمای داره، چه نرخ ورودی داره، چه مسیری طی کنه چطور میکس بشه، به چه شکل و سرعت و تلاطمی با نمونه ها برخورد کنه، مناسب بودن مسیر خروج از نظر حجم و عدم نشتیالبته الان نتایج بهتری داریم، این عکس برای چندین ماه پیش هست.راستی این کارها رو داخل کلین روم انجام میدیم، این عکس رو روی میز داخل اتاق گرفتیم ( نگین اینا چه نابودهای هستن😁)کانال نانو الکترونیک@nanoelectronic_org